羅茨真空泵工作原理 羅茨真空泵（簡稱羅茨泵）是一種旋轉式變容真空泵。 它是由羅茨鼓風機演變而來的。根據羅茨真空泵工作范圍 的不同，又分為直排大氣的低真空羅茨泵；中真空羅茨泵 （又稱機械增壓泵）和高真空多級羅茨泵。一般來說，羅 茨泵具有以下特點： 在較寬的壓強范圍內有較大的抽速； 起動快，能立即工作； 對被抽氣體中含有的灰塵和水蒸氣不敏感； 轉子不必潤滑，泵腔內無油； 振動小，轉子動平衡條件較好，沒有排氣閥； 驅動功率小，機械摩擦損失??； 結構緊湊，占地面積??； 運轉維護費用低。